ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Каталог продукции с системой выбора и консультации

Комплекты направляющих с блоками роликов KUVE (Комплект с блоками шариков)
 
КОНТАКТ
Применение

Литография

Высокоточные линейные направляющие для координатных столов

Для того, чтобы нанести структуру на микросхему, её покрывают светочувствительным фото-лаком. Фото-лак освещают через шаблон, в результате чего, там, где попал свет, лак разрушается.

В производстве полупроводников следующего поколения размер элементов структуры сократится до менее 60 нм, для того, чтобы достичь большей плостности ячеек памяти и быстродействия.

Координатные столы с приодом линейными двигателями обеспечивают перемещение платы микросхемы и проекционного шаблона. Основу установки образует стабильная, изолированная от колебаний гранитная конструкция и высокоточная направляющая, например, комплект с блоком роликов RUE фирмы INA. Эти чрезвычайно тихие направляющие отличаются равномерным сопротивлением сдвигу - что важно для воспроизводимости и точности позиционирования.